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本发明公开了一种激光加工方法及激光加工设备，激光加工方法包括将平顶光束分束形成多束子光束；分别调制各子光束，以使各子光束的焦面位置不同，部分子光束的焦面位于待加工件表面、部分子光束的焦面位于待加工件表面之外；将各子光束合束形成目标激光束；使用目标激光束加工待加工件。本发明通过使各子光束的焦面位置不同，各子光束在待加工件表面具有不同能量分布，从而目标激光束融合了各子光束成分的能量分布，弥补了单一激光加工能量分布不均或不集中的问题，实现了能量分布均匀性与中心能量密度的兼顾。且本申请通过对平顶光束先分束、调制、再合束形成目标激光束，仅需配置一套激光发射器，有效简化了结构和控制复杂度，降低了成本。

本申请涉及激光加工技术领域，本申请公开了一种激光加工装置和激光加工装置的调试方法，激光加工装置包括光束提供模块、第一调制件和合束模块，光束提供模块配置为提供频率相同的第一激光光束和第二激光光束；第一调制件配置为对第一激光光束、第二激光光束进行光束轮廓调制，以分别形成零阶贝塞尔光束和高阶贝塞尔光束；合束模块配置为将第一激光光束和第二激光光束合束，或，配置为将零阶贝塞尔光束和高阶贝塞尔光束合束；以至于零阶贝塞尔光束和高阶贝塞尔光束相干叠加形成加工光束。

本申请属于材料技术领域，尤其涉及一种钠钙玻璃通孔加工方法、钠钙玻璃通孔加工用碱性刻蚀液及具有通孔的钠钙玻璃。其中，钠钙玻璃通孔加工方法包括如下步骤：对钠钙玻璃的目标区域进行激光改性，形成贯穿所述钠钙玻璃的改性区域；采用碱性刻蚀液对所述改性区域进行刻蚀，形成通孔；其中，所述碱性刻蚀液的原料包括无机强碱、螯合助剂、润湿剂、醇胺类助剂和水；所述螯合助剂包括含至少两个氨基和至少两个膦酸基团的多氨基多膦酸类螯合助剂和/或其盐类螯合助剂。本申请的钠钙玻璃通孔加工方法能够实现厚度可达1.1mm的钠钙玻璃的直通，刻蚀速率高、无沉淀堵塞，且孔壁光滑。