激光加工方法及激光加工设备

本发明公开了一种激光加工方法及激光加工设备，激光加工方法包括将平顶光束分束形成多束子光束；分别调制各子光束，以使各子光束的焦面位置不同，部分子光束的焦面位于待加工件表面、部分子光束的焦面位于待加工件表面之外；将各子光束合束形成目标激光束；使用目标激光束加工待加工件。本发明通过使各子光束的焦面位置不同，各子光束在待加工件表面具有不同能量分布，从而目标激光束融合了各子光束成分的能量分布，弥补了单一激光加工能量分布不均或不集中的问题，实现了能量分布均匀性与中心能量密度的兼顾。且本申请通过对平顶光束先分束、调制、再合束形成目标激光束，仅需配置一套激光发射器，有效简化了结构和控制复杂度，降低了成本。