№ CN121358578A发明专利
有效断开装置和断开方法
将难以断开的基板高品质地断开。断开装置(100)具有工作台(3)和断开部件(1)。工作台(3)载置形成有刻划线(SL)的基板(S)。断开部件(1)通过按压载置于工作台(3)的基板(S)的形成有刻划线(SL)的部位,沿着刻划线(SL)将基板(S)断开。工作台(3)具有1GPa~10GPa的杨氏模量。
❖三星钻石工业股份有限公司武田真和; 田村健太; 中口裕贵; 山中良太§ 2/6 权利要求B28D 5/00 (2006.01), B26F 3/00 (2006.01), B28D 7/04 (2006.01) +215