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断开装置和断开方法
发明专利有效
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6权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
武田真和; 田村健太; 中口裕贵; 山中良太
IPC 分类
B28D 5/00 (2006.01)B26F 3/00 (2006.01)B28D 7/04 (2006.01)H10P 54/40 (2026.01)H10P 58/00 (2026.01)
将难以断开的基板高品质地断开。断开装置（100）具有工作台（3）和断开部件（1）。工作台（3）载置形成有刻划线（SL）的基板（S）。断开部件（1）通过按压载置于工作台（3）的基板（S）的形成有刻划线（SL）的部位，沿着刻划线（SL）将基板（S）断开。工作台（3）具有1GPa～10GPa的杨氏模量。