南京南智先进光电集成技术研究院有限公司

本公开提供一种可见光近红外超表面单元分区曝光控制方法，包括：按照工作波长状态与偏振状态将超表面单元的目标复响应绑定至单元位置，得到响应约束集；由响应约束集反演得到几何目标图与几何容差图；将几何目标图与几何容差图输入曝光传递模型，得到局部灵敏度图与邻域耦合矩阵；由局部灵敏度图与邻域耦合矩阵划分得到分区索引图与边界耦合集；由分区索引图、边界耦合集、几何目标图与几何容差图求解得到分区曝光参数、预测几何轮廓、双域残差、收敛曝光参数、曝光执行序列；由曝光设备的执行值与曝光执行序列之差得到曝光执行偏差；以曝光执行偏差修正未曝光分区的曝光执行序列，得到可见光近红外超表面图形。

本公开提供一种面向光电异质集成系统的多尺度可靠性协同评估方法，该方法包括：对光电异质集成结构中的界面层进行拆分，并从耗散子层中提取界面层复合参数，以构建界面分层属性集。基于界面层复合参数和界面分层属性集，对能量传递过程进行划分，并在能量传递路径中进行能量中断判定，以获取非连续能量传递特征。根据非连续能量传递特征对能量传递链进行扫描，以识别能量传递中断位置，并对能量传递中断位置进行路径修复，得到修复路径。对修复路径的耗散段和传递段进行权重修正，并对权重修正后的修复路径进行综合叠加，以输出非连续耗散效应的多尺度可靠性协同评估结果，能够显式刻画中间过渡层耗散行为并实现了跨尺度失效路径连续重构。