一种位移测量系统及投影物镜

本发明涉及投影物镜位置测量技术领域，公开了一种位移测量系统及投影物镜。该位移测量系统包括透镜安装座、三个光栅干涉仪及三个一维平面光栅。透镜安装座用于安装透镜。三个光栅干涉仪绕透镜的光轴均匀间隔布置于透镜的侧面。三个一维平面光栅与三个光栅干涉仪一一对应；一维平面光栅设置于透镜安装座，一维平面光栅的栅线方向与透镜的运动方向垂直；光栅干涉仪设置于一维平面光栅远离透镜的一侧，用于测量所述透镜的实际位置。可以实现对透镜实际位置的实时高精度测量，实现动态监测的目的，能够在投影物镜运行过程中实时跟踪透镜位置的变化，及时发现并纠正因温度变化、机械振动等因素引起的位移偏差，确保投影物镜的光学系统的稳定性。