用于沉积含金属层的方法和系统

本公开涉及用于通过选择性沉积过程在衬底上沉积含金属材料的方法和设备。该方法包括在反应室中提供衬底，以气相将金属醇盐前体提供到反应室中；以及以气相将第二前体提供到反应室中以在衬底上形成含金属材料。根据本公开的第二前体包括硼烷化合物，并且衬底包括第一表面和第二表面。