微机电系统半导体气体传感器及其制备方法

本申请公开了一种微机电系统半导体气体传感器及其制备方法。微机电系统半导体气体传感器的制备方法包括以下步骤：混合金属氧化物半导体气敏材料、粘合剂以及分散剂，进行至少一次研磨，制备浆料；提供掩膜板，掩膜板上设置有多个与微机电系统传感器的尺寸对应的凹槽，于每个凹槽中放入一个微机电系统传感器；提供滴涂装置，滴涂装置设置有多个与凹槽位置对应的针头，将浆料由针头滴涂至凹槽中的微机电系统传感器的表面，烘干。通过掩膜板定位配合滴涂工艺，可实现多个微机电系统传感器的同步成膜，有效保证了多器件间膜层形貌、厚度及传感性能高度统一，满足微机电系统半导体气体传感器小批量试制及规模化生产需求。