基于光学相干层析的精密齿轮三维形貌测量系统及方法

本发明公开了基于光学相干层析的精密齿轮三维形貌测量系统，包括宽带光源、准直透镜、2×2光纤分束器、参考臂、测量臂、旋转台、转台控制器、平面衍射光栅、第二聚焦透镜、高速线阵CMOS相机、数据采集卡以及计算机。本发明还公开了基于光学相干层析的精密齿轮三维形貌测量方法，通过计算机对采集的干涉光谱信号进行处理，完成精密齿轮全圆周三维点云重建及形貌测量。本发明能够提高精密齿轮特别是谐波减速器柔轮三维形貌测量的数据完整性，降低金属高反射对测量结果的影响，实现测量效率与测量精度的兼顾，为精密齿轮几何参数提取及表面形貌分析提供可靠的测量手段。