等离子体设备

本公开实施例提供一种等离子体设备，涉及半导体设备技术领域。等离子体设备，包括：介质管，沿其轴向具有相对的第一端和第二端；进气盖板，位于介质管的第一端；内衬管，位于介质管的内侧，且与介质管之间具有第一间隙；内衬管包括沿介质管的轴向设置的多个环体；进气盖板设置有第一固定部；第一固定部与靠近第一端的环体配合，以将多个环体压紧；环形固定件，位于介质管的第二端；环形固定件具有固定件主体部及限位部，固定件主体部用于遮挡介质管与内衬管之间的第一间隙；限位部与固定件主体部连接，限位部与靠近第二端的环体配合；处理腔室，介质管的第二端插设至处理腔室的开口中，且处理腔室与环形固定件可拆卸连接。