一种电子束激发荧光和背散射电子同步探测装置及其方法

本发明公开了一种电子束激发荧光和背散射电子同步探测装置及其方法，属于电子显微镜领域。本发明采用可透过荧光的背散射电子探测器，结合电子束激发荧光探测器，使得电子束在单次扫描样本中，同时探测电子束激发荧光和背散射电子，提高实验数据采集效率和处理效率，同时降低电子束对所探测样本的损伤；能够保证在实现背散射电子探测的同时，允许70%以上电子束激发荧光透过背散射电子探测器入射至电子束激发荧光探测器的探测面，由荧光‑电子一体式探测器和前置放大器相互连接，集成为一体化的探测模组，并能够调整空间位置，优化探测效率。本发明应用于地质、材料、物理和半导体等领域研究以及高通量分析测试，反映材料成分和材料缺陷等信息。