一种版图的光刻热点修复方法以及相关装置

本申请公开了一种版图的光刻热点修复方法以及相关装置。在执行本申请实施例提供的方法时，首先可以获取掩膜图案中具有光刻热点的矢量缺陷版图，然后将其转换为符合目标格式的像素缺陷版图，并通过滑窗切片处理生成第一切片集合。接下来，利用预先构建的热点几何模板识别第一切片集合中的缺陷切片，并根据热点图像修复规则和缺陷切片的位置对像素缺陷版图进行热点修复和转换，最终得到矢量修复版图。本申请通过将矢量缺陷版图转换为像素图像，并进行滑窗切片处理，可以实现自动化识别和修复光刻热点，大大减少了人工干预和工作量。同时基于预先构建的热点几何模板和热点图像修复规则，可以快速准确地识别和修复缺陷切片，提高了修复效率和效果。