一种高速三维堆叠铁电场效应晶体管的制备方法

本发明提供一种高速三维堆叠铁电场效应晶体管的制备方法，属于微纳电子学技术领域。采用本发明制备的三维堆叠FeFET器件中，通过铁电层和氧化物沟道的协同优化，有效辅助了铁电层中极化的翻转，在减小了操作电压的同时，提升了写入速度，实现了良好的综合性能，结合三维堆叠的高密度和高带宽能力，为AI时代快读增长的数据提供了低成本、高速和可靠的存储方案。