一种光阻余量的确定方法、确定装置及确定系统

本申请提供一种光阻余量的确定方法、确定装置及确定系统，应用于光阻喷涂设备，光阻喷涂设备具有光阻容器和缓冲容器，光阻容器分别与增压管路和缓冲容器连通，包括：在利用光阻喷涂设备在衬底表面喷涂光阻的过程中，获取光阻喷涂设备在目标时刻的光阻余量参考参数；基于光阻喷涂设备在目标时刻的光阻余量参考参数，确定缓冲容器在目标时刻的光阻余量；其中，光阻余量参考参数包括光阻容器的重力参数、增压管路的气压参数、缓冲容器的液压参数以及光阻容器与缓冲容器之间的光阻流量参数。进而，能够确保工艺不会因光阻容器更换而中断，维持工艺的稳定性与连贯性。