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一种激光辐照下镀膜光学元件的缺陷演化预测方法和系统
发明专利未知
10权利要求 · 4 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
申请人
长春理工大学; 中国人民解放军国防科技大学; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人
郝群; 石峰; 彭星; 陈梦璐; 魏志鹏; 陈飞; 曹红兵
申请日
Sep 22, 2026
公开日
Oct 27, 2026
IPC 分类
G06F 18/2431 (2023.01)G06F 30/25 (2020.01)G06F 18/213 (2023.01)G06F 18/2321 (2023.01)G16C 10/00 (2019.01)G16C 60/00 (2019.01)G06F 119/08 (2020.01)G06F 119/14 (2020.01)G06F 119/02 (2020.01)
一种激光辐照下镀膜光学元件的缺陷演化预测方法和系统,涉及电数字数据领域,缓解了现有技术存在难以描述不同膜层的差异化热响应等问题。缺陷演化预测方法包括:基于待预测镀膜光学元件的材料参数、结构参数和激光辐照参数,对待预测镀膜光学元件通过高斯激光体热源方法,获得热源;基于材料参数和热源,获得传热方程;基于材料参数和激光辐照参数,获得水平集界面退缩源项;基于水平集界面退缩源项,获得水平集界面演化方程;对传热方程、水平集界面演化方程和流动方程进行耦合,获得多物理场耦合方程;通过对多物理场耦合方程进行求解,获得缺陷演化预测结果。本发明适用于预测镀膜光学元件在纳秒脉冲等条件下的演化过程。
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