搬运装置
提供有效且可靠地实施电子部件的搬运的搬运装置。搬运装置具有:第一旋转搬运部,其使吸附保持电子部件的第一保持部沿着圆轨道移动;第二旋转搬运部,其使吸附保持电子部件的第二保持部沿着圆轨道移动;以及位置校正部,其在电子部件的搬运路径上设置于第一旋转搬运部与第二旋转搬运部之间,对从第一保持部接受到的电子部件的位置进行校正并向第二保持部交接。位置校正部具有:吸附保持部,其具有吸附保持电子部件的吸附面,该吸附保持部与第一保持部和第二保持部进行电子部件的交接;旋转搬运台,其使吸附保持部沿着圆轨道移动;以及平行驱动部,其使旋转搬运台平行移动,对吸附保持部所吸附保持的电子部件的平面位置进行校正。在第二交接位置处,对置的吸附保持部的吸附面与第二保持部的吸附面是平行的。