多层陶瓷基板一体化组装封装方法及多层陶瓷基板封装体
本发明涉及电子电路三维封装技术领域,公开了多层陶瓷基板一体化组装封装方法及多层陶瓷基板封装体,包括:提供至少两片陶瓷基板,各所述陶瓷基板均形成有贯通孔;在各所述贯通孔中填充导电材料,并使所述导电材料的端面与对应陶瓷基板的表面齐平;在各所述陶瓷基板的表面通过薄膜工艺形成导电图形;并使所述导电图形覆盖所述贯通孔的端口,以形成气密封口;在各所述陶瓷基板的待焊接面上分别形成焊料层,且至少部分所述焊料层的熔点互不相同;将各所述陶瓷基板沿厚度方向叠置,并按照熔点由高至低的顺序逐层焊接;其中,当前焊接层的焊接温度低于已焊接层的焊料熔点。实现了多层基板间高可靠性、高气密性的三维堆叠封装。