Original name record: 日本碍子株式会社

通过对内部所植入的电极施加电压而对载放于载放面的被加工物进行静电吸附固定的静电卡盘中，载放面具有由以规定的间距二维地隔离配置的多个凸部和所述凸部之间的平坦的凹部构成的凹凸结构，凸部具备：平坦部，其具有相对于静电卡盘的厚度方向而垂直且高度均匀的平坦面；以及倾斜部，其位于平坦部的周围，随着从平坦部趋向凹部，高度变小，倾斜部的上表面相对于静电卡盘的厚度方向的倾斜角为65度以上且84度以下。

提供车辆用空气调节系统，能够提高空气调节设备的再生处理时产生的热的回收效率，抑制冷凝水附着于空气调节设备。车辆用空气调节系统具备：空气调节设备(10)，包括具有能够供水分吸附及脱离的吸附剂的吸附部及能够对吸附部进行加热的加热机构；空气调节通道(20)，能够供来自车厢或车外的空气流通，在内部配置有空气调节设备(10)，在空气调节设备(10)的下游侧具有使空气流入到车厢的第一流路(20a)及使空气排出到车外的第二流路(20b)；阀(30)，能够在第一流路(20a)与第二流路(20b)之间对空气的流动进行切换；排热回收部件(40)，设置在空气调节设备(10)与阀(30)之间。空气调节设备(10)与排热回收部件(40)的距离为5～200mm。

本发明提供能够稳定地维持优异的酸性气体吸附性能的酸性气体吸附装置。本发明的实施方式所涉及的酸性气体吸附装置具备与酸性气体流路接触的酸性气体吸附部。该酸性气体吸附部包含能够吸附酸性气体的酸性气体吸附材料、以及劣化抑制材料。25℃下的针对劣化抑制材料的作为对象的酸性气体的溶解度为0.1mol／kg以上。25℃下的劣化抑制材料的蒸汽压为30Pa以下。

提供一种具有优异的耐热性的红外线加热器。本发明的一个实施方式的红外线加热器具备：电介质层；包括多个第一导体部的导体图案；以及第二导体部。导体图案配置在电介质层上。多个第一导体部以构成周期结构的方式相互隔开间隔地排列。第二导体部相对于电介质层而配置于与该导体图案相反的一侧。多个第一导体部各自具备第一粘接层、第一阻隔层以及第一主体层。第一粘接层与电介质层接触。第一主体层相对于第一粘接层而配置于与电介质层相反的一侧。第一阻隔层配置在第一粘接层与第一主体层之间。第一阻隔层能够阻隔构成第一粘接层的材料向第一主体层的迁移。