无锡亘芯悦科技有限公司

本申请涉及半导体检测设备技术领域，特别是涉及一种扫描电镜图像的模板匹配方法、装置、设备、介质和程序产品。所述方法包括：将模板图像和目标图像分别输入至预训练的双分支网络；基于卷积神经网络前端提取底层视觉特征，基于转换编码器对底层视觉特征进行编码，得到模板特征序列和搜索特征序列；将模板特征序列和搜索特征序列拼接，并输入至转换编码器，生成模板增强特征以及搜索增强特征；以搜索增强特征作为查询特征，以模板增强特征作为键特征和值特征，通过交叉注意力机制计算匹配响应图；根据匹配响应图确定模板图像在目标图像中的定位匹配信息。采用本方法能够针对SEM图像特性进行专门设计、能够在保证匹配精度的同时保持轻量化运行。

本发明公开了SEM成像多通道数据实时传输系统及方法，属于半导体检测设备技术领域。所述系统包括：FPGA主控板，用于采集多通道SEM图像数据并封装为含通道编号的数据流；PCIE传输卡，集成数据接收与解析模块、双队列FIFO缓存模块及多通道DMA引擎模块。所述解析模块分离控制信息与载荷数据，双队列FIFO分别缓存，DMA引擎依据通道编号将数据并行搬运至上位机对应存储空间，构成三级流水线架构。本发明通过FPGA硬件流水线架构与多通道独立DMA并行传输机制，解决了现有万兆网传输中CPU占用过高、数据通道拥堵及图像显示残影的问题，达到了实现多通道高吞吐量数据稳定、准确且低延迟实时传输，显著提升电子束检测设备成像效率与稳定性的技术效果。