一种直拉单晶磷锑共掺自动化系统及方法
本发明涉及直拉硅单晶技术领域,具体涉及一种直拉单晶磷锑共掺自动化系统及方法,包括:工艺配方读取模块,用于采集炉台预设的工艺参数并实时监测工艺参数的更新,将采集的工艺参数发送至磷锑共掺量自动计算模块,磷锑共掺量自动计算模块,内置锑挥发速率模型及磷锑掺杂量耦合计算模型,用于计算初始磷、锑掺杂量,电阻率闭环修正模块,用于获取已产出单晶硅棒的实测电阻率,并根据实测电阻率与目标电阻率的偏差修正模型的系数;炉台状态采集与补掺智能触发模块,用于实时采集炉台运行状态,并计算锑补掺量并触发补掺指令。本发明显著降低了因参数变化导致的电阻率超标及单晶硅棒降等率,高度适配光伏及半导体领域大规模量产需求。