№ CN122936017A발명
알 수 없음用于制造半导体装置的组合物、包含该组合物的半导体装置制造设备及半导体装置制造方法
实施方式提供了一种用于制造半导体装置的组合物,该组合物包含乙炔和用于溶解乙炔的溶剂。该组合物包括基于总重量的小于2,000 ppm的水,并且可以应用于半导体装置的制造工艺及半导体装置制造设备。
❖爱思开新材料有限公司宋泳河; 曹榕浚; 郭正勋; 李进熙Oct 16, 2026§ 3/20 청구항H10P 14/00 (2026.01), H10P 76/40 (2026.01), H01J 37/32 (2006.01) +119