京东方华灿光电（浙江）有限公司

本公开提供了一种薄膜的制备方法以及半导体制品，属于半导体技术领域。所述制备方法包括：将晶圆置于反应腔内；在所述反应腔内顺序进行多个等离子体沉积过程，以在所述晶圆表面形成薄膜，在相邻两个所述等离子体沉积过程之间，对所述晶圆进行原位气体吹扫。本公开可以改善薄膜的膜层均匀性。

本公开提供了一种发光器件及发光器件制备方法。所述发光器件包括：衬底、黏合层、至少一个发光二极管芯片、黑化层、第一平坦化层、至少两个电极；发光二极管芯片通过黏合层与衬底连接，黑化层位于黏合层上，黑化层具有至少一个凹槽，至少一个发光二极管芯片位于至少一个凹槽内，第一平坦化层覆盖黑化层和至少一个发光二极管芯片，至少两个电极位于第一平坦化层，至少一个发光二极管芯片中的每个发光二极管芯片分别与至少两个电极中的两个电极电连接。