浙江先导精密机械有限公司

本发明公开了一种薄片类零件装夹工装及方法，旨在解决薄片类零件装夹加工过程中容易出现变形现象的不足。该发明包括装夹在三爪卡盘上的装夹柱，装夹柱外端设置下沉的装夹凹槽，薄片类零件一端与装夹凹槽适配连接，薄片类零件和装夹柱外端面之间通过双面胶粘接定位。薄片类零件通过双面胶粘接到装夹柱端面上，装夹柱夹持到三爪卡盘上，三爪卡盘转动进行薄片类零件的加工，薄片类零件加工是不需要进行夹持，避免了夹持变形现象，从而保证了加工精度。

本发明公开了一种薄壁件的断续切削加工方法，旨在提供一种实用性强，操作方便、快捷，能够有效降低断续切削时产生的振动，从而提高薄壁件的加工精度并有利于提高效率的一种薄壁件的断续切削加工方法。它包括以下步骤：A，薄壁件毛坯开粗，薄壁件毛坯包括薄壁圆筒、设于薄壁圆筒一端的方形板及设于薄壁圆筒另一端的环形板；B，薄壁件毛坯放入热处理炉进行热处理，去除开粗产生的应力；C，将薄壁件毛坯安装在工装上，对薄壁件毛坯进行半精加工,得到薄壁件半成品；D，将薄壁件半成品安装在工装上，对薄壁件半成品进行精加工,得到薄壁件成品。

本发明公开了一种多角度真空腔电子束焊接工装，旨在解决半导体精密真空腔体类零部件真空电子束焊接时，需要对工件进行多次拆装、多次重新装夹定位的不足。该发明包括工作台，工作台上安装能横向移动和纵向移动的支撑机构，支撑机构上安装转台组件，转台组件包括转动座和转台，转动座转动安装在支撑机构上，转台转动安装在转动座上，工件装载在转台上，工件上方设置电子束焊接头，电子束焊接头朝向工件发射电子束进行焊接。工件一次性整体装夹，单次装夹条件下，一次性完成所有不同位置焊接面的焊接作业，省去多次装夹、反复破真空与抽真空的繁琐工序，提升加工效率，降低生产成本，保证焊接位置精度。

本发明公开了一种腔体侧壁异形倒扣的加工方法，包括以下步骤：S1、在腔体需要形成异形倒扣位置上加工出孔洞；S2、选用刀具的侧边倾斜度与异形倒扣上的最小夹角位有相同倾斜度；S3、对异形倒扣上的最小夹角位进行横向切削加工，并沿孔洞轴线方向递进切削；S4、刀具包括有外缘角和外侧边，在最小夹角位之外的区域，先横向切割至外缘角至目标位置，再以外缘角为圆心旋转至外侧边至目标位置，随后再沿孔洞轴线方向递进切削。本发明提供了一种腔体侧壁异形倒扣的加工方法，能够解决常规刀具无法加工到位的情况，在加工倾斜倒扣时不留加工死角，减少了刀具与腔体之间的干涉情问题。

本发明公开了一种自供电机加工零件温度监测装置，包括自供电模块和微功耗温度监测模块，自供电模块包括发电组件和连接在发电组件输入端的切削液驱动机构，微功耗温度监测模块与发电组件的输出端以及一检测被加工的工件温度的温度传感器电连接。本发明利用加工过程中产生的切削液的机械能以及噪声进行发电并就地使用，将一直以来被浪费的能源转化为电能，充分实现废物利用，减少对外部电能供应的需求，节约了能源，降低了使用、维护成本。本发明中机加工设备的温度监测所需电能伴随机加工作业的实施而生，只要机加工进行即有电能产生，不存在因电池电量耗尽或公共电网断电而导致温度监测无法实施的问题。

本发明公开了一种半导体制造设备的工艺腔体冷却流道结构及制作方法，旨在提供一种能够对盖板进行主动定心，从而稳定的控制焊料装填间隙，有效的提高焊料装填间隙的一致性，从而有效解决焊料装填间隙波动大，而造成的焊片装填难度大，金属液容因重力下淌进入流道槽内及因焊接热应力导致的盖板偏移，加剧焊料装填间隙不均的问题的工艺腔体冷却流道结构及制作方法。它包括：盖板槽，设于工艺腔体的腔体壁表面上；流道槽，设于盖板槽底面；盖板，设于盖板槽内；锁底定心结构，包括设于盖板上凸台，该凸台嵌入流道槽内；盖板侧面与盖板槽内侧面之间具有焊料装填间隙，焊料装填间隙内填充有焊料，盖板与盖板槽侧壁之间通过焊接密封连接。

本发明公开了一种冷却结构及其制作方法，包括冷却结构基体和呈双重固定式结构设置在冷却结构基体内的冷却管，在所述的冷却结构基体上布设有与冷却管形状轨迹相匹配的冷却管压接槽，所述的冷却管呈形变式挤压在冷却管压接槽内部，所述的冷却管压接槽与形变冷却管之间形成自锁式限位固定结构，在所述的冷却管压接槽内部填充有形成冷却管二次固定的导热胶，所述的限位固定结构与导热胶形成所述的双重固定式结构。通过对冷却管压接槽结构的改进，并采用挤压装配工艺，实现冷却管与冷却管压接槽挤压变形式紧密固定与导热胶固定的双重固定，安装固定精度高，贴合紧密，极大的提升了冷却结构的温控效果与运行稳定性。