元の名称記録: 株式会社富士

供料器检查装置具备：支撑部，将带式供料器支撑为能够动作，上述带式供料器具有将收容有元件的载带向预定的进给方向进给的进给机构；装填部，向支撑于支撑部的带式供料器沿着进给方向装填检查用带，上述检查用带与载带不同且用于进给机构的检查；及检查执行部，使进给机构进给检查用带而执行进给机构的检查。

固定带剥离装置具备支撑机构、分开机构、把持机构及分离机构。支撑机构将带盘支撑为能够旋转，上述带盘的螺旋状带的外周部与盖带的前端部由固定带固定，上述螺旋状带是载带呈螺旋状地卷绕而成的。分开机构利用空气使非粘接部从螺旋状带的外周部分开，上述非粘接部是由支撑机构支撑的带盘的固定带的前端侧的部位、且未设置将固定带与螺旋状带的外周部固定的粘接剂。把持机构把持通过分开机构而从螺旋状带的外周部分开了的非粘接部。分离机构在把持机构把持着非粘接部的状态下使把持机构向与带盘分开的方向移动，而使固定带从盖带分离。

监视作业装置所具备的多个真空泵的压力的监视系统具备：传感器，检测与多个真空泵连通的空气流路的压力；压力获取部，一边依次切换工作的真空泵一边以下的执行获取处理：在使多个真空泵中的一个真空泵工作、使其余的真空泵停止的状态下，获取传感器的检测值作为工作中的真空泵的压力；以及判定部，基于在获取处理中所取得的压力，来分别判定多个真空泵的状态。

对基板作业机具备：支撑板，具有第一载置面，该第一载置面载置从下方支撑基板的支撑部件；收容部，在第一载置面上开口，能够在比第一载置面靠下方的位置收容支撑部件；及罩部件，设置为能够相对于收容部的开口进行开闭，且具有在关闭状态下载置支撑部件的第二载置面。