监视系统及监视方法

监视作业装置所具备的多个真空泵的压力的监视系统具备：传感器，检测与多个真空泵连通的空气流路的压力；压力获取部，一边依次切换工作的真空泵一边以下的执行获取处理：在使多个真空泵中的一个真空泵工作、使其余的真空泵停止的状态下，获取传感器的检测值作为工作中的真空泵的压力；以及判定部，基于在获取处理中所取得的压力，来分别判定多个真空泵的状态。