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本发明公开了一种类针状Pb催化剂及其制备方法和电催化产砷烷的应用，所述的催化剂通过原位电化学修饰，使载体表面原位生长纳米级类针尖Pb结构，该结构有利于提高催化剂的比表面积，增加与反应底物的吸附，表现出了较好的电催化产砷烷性能，同时该结构降低了砷阴极泥的产生，具有良好的稳定性。本发明的催化剂制备简单，过程绿色，反应溶液可以进行重复利用，避免废液排放带来的环境压力，因此也具有生产成本低的特点，对电催化砷烷的制备有重要的指导意义，具有较大的应用前景。

本发明公开了半导体工艺气体短程高纯输送控制方法，涉及半导体制造技术领域，包括以下步骤：采集半导体外延工艺的多种工艺气体入口流量、入口压力及初级纯度数据，将多种工艺气体在进入机台侧前统一限定在预设范围内，并分别导入对应进气路径，为机台侧终端净化处理建立一致输入条件。本发明通过将终端净化位置设置于机台侧并缩短输送距离，使气体在完成净化后快速进入反应区域，减少输送过程中的杂质引入。同时通过连续平滑流动控制与停留时间压缩，避免气体滞留并降低杂质释放概率，从而在全过程中维持高纯状态，提升外延工艺稳定性与产品质量。