№ CN122983075A発明
不明晶圆凸块的局部形貌缺陷检测方法、装置、设备和介质
本说明书一个或多个实施例提供一种晶圆凸块的缺陷检测方法、装置、设备、介质和程序产品。该缺陷检测方法包括:获取待测晶圆表面的2D平面图像和3D高度图像,所述待测晶圆表面包括至少一个凸块;根据所述2D平面图像,确定每个凸块在图像坐标系中的区域信息;根据每个凸块在图像坐标系中的区域信息,从所述3D高度图像中提取与每个凸块对应的三维高度数据;基于提取的所述三维高度数据,对每一个所述凸块进行缺陷检测,以判定所述凸块是否存在几何尺寸缺陷和/或局部形貌缺陷。
❖匠岭科技(上海)有限公司倪赛健; 唐毅成; 史其仕; 党江涛; 高海军; 王英Oct 27, 2026§ 5/14 請求項G01N 21/95 (2006.01), H10P 74/20 (2026.01), H10P 74/00 (2026.01) +4