晶圆凸块的局部形貌缺陷检测方法、装置、设备和介质

本说明书一个或多个实施例提供一种晶圆凸块的缺陷检测方法、装置、设备、介质和程序产品。该缺陷检测方法包括：获取待测晶圆表面的2D平面图像和3D高度图像，所述待测晶圆表面包括至少一个凸块；根据所述2D平面图像，确定每个凸块在图像坐标系中的区域信息；根据每个凸块在图像坐标系中的区域信息，从所述3D高度图像中提取与每个凸块对应的三维高度数据；基于提取的所述三维高度数据，对每一个所述凸块进行缺陷检测，以判定所述凸块是否存在几何尺寸缺陷和/或局部形貌缺陷。