一种氧化铈/氧化铝复合粉体及其制备方法和应用
本发明公开一种氧化铈/氧化铝复合粉体及其制备方法和应用,属于无机粉体合成技术领域。该制备方法包括如下步骤:在铈盐溶液中加入分散剂搅拌均匀,然后滴加沉淀剂至pH值为8~11,继续搅拌,抽滤、洗涤后干燥,得到氢氧化铈前驱体;将氢氧化铝和氢氧化铈前驱体混合均匀后焙烧,得到氧化铈/氧化铝复合粉体。本发明仅采用短时打粉均匀混合干粉原料,全程不采用球磨介质研磨,混合粉体直接高温共焙烧得到复合粉体,工艺简单、成本低、无研磨杂质。并且制得的复合粉体具有高表面活性和更强的界面稳定性,应用于CMP工艺时抛光效果良好。