一种氧化铈/氧化铝复合粉体及其制备方法和应用

本发明公开一种氧化铈/氧化铝复合粉体及其制备方法和应用，属于无机粉体合成技术领域。该制备方法包括如下步骤：在铈盐溶液中加入分散剂搅拌均匀，然后滴加沉淀剂至pH值为8~11，继续搅拌，抽滤、洗涤后干燥，得到氢氧化铈前驱体；将氢氧化铝和氢氧化铈前驱体混合均匀后焙烧，得到氧化铈/氧化铝复合粉体。本发明仅采用短时打粉均匀混合干粉原料，全程不采用球磨介质研磨，混合粉体直接高温共焙烧得到复合粉体，工艺简单、成本低、无研磨杂质。并且制得的复合粉体具有高表面活性和更强的界面稳定性，应用于CMP工艺时抛光效果良好。