一种高纯氟氮混合气的生产方法

本发明公开了一种高纯氟氮混合气的生产方法，属于氟化工技术领域。所属的方法是将高纯三氟化氮和高纯氮气按照1：5.5~10摩尔比混合通入裂解器中，反应温度为1000~1250℃，压力为0.2~0.7Mpa，反应至压力不再变化，反应后的气体通过冷凝器降温通入缓冲罐1，经过压缩机压缩后通入脱重精馏塔中除去重组分杂质，精馏塔顶部采出的气体通入缓冲罐2后，通过压缩机压缩后充装到钢瓶。本发明在裂解反应中引入氮气既能保证反应的安全性，同时又减少裂解三氟化氮后氟气提纯除氮气杂质生产环节，能够直接生产预定浓度的氟氮混合气，降低生产成本，减少生产环节，可直接制备20%氟氮混合气。