元の名称記録: 湖北兴福电子材料股份有限公司

本发明公开了一种高纯氟氮混合气的生产方法，属于氟化工技术领域。所属的方法是将高纯三氟化氮和高纯氮气按照1：5.5~10摩尔比混合通入裂解器中，反应温度为1000~1250℃，压力为0.2~0.7Mpa，反应至压力不再变化，反应后的气体通过冷凝器降温通入缓冲罐1，经过压缩机压缩后通入脱重精馏塔中除去重组分杂质，精馏塔顶部采出的气体通入缓冲罐2后，通过压缩机压缩后充装到钢瓶。本发明在裂解反应中引入氮气既能保证反应的安全性，同时又减少裂解三氟化氮后氟气提纯除氮气杂质生产环节，能够直接生产预定浓度的氟氮混合气，降低生产成本，减少生产环节，可直接制备20%氟氮混合气。

本发明公开一种半导体级异丙醇连续纯化系统及工艺，针对传统工艺中重金属离子等痕量杂质脱除不彻底等问题，集成了气态吸附脱水、双塔精馏及三级离子交换等步骤，形成新型工艺。原料异丙醇经汽化、气态吸附脱水后，通过多级滤芯过滤；随后进入精馏系统脱除轻、重组分杂质；之后依次通过除硼、除重金属离子交换树脂床以及混床树脂床，脱除痕量的硼元素及阴阳离子；最终经终端过滤，得到半导体级异丙醇。经本发明方法获得的异丙醇，主含量≥99.995wt%，硼含量≤7ppt，各项金属元素含量≤3ppt，可用于晶圆表面的干燥和清洗。

本专利涉及一种低杂质电子级离子交换树脂及其处理方法，该电子级离子交换树脂本体金属离子杂质低于500ppt。本发明旨在提供一种低杂质电子级离子交换树脂的处理方法，主要是通过多步溶剂处理，分步实现离子交换树脂不同相体系转化、高分子链段可控溶胀、包藏杂质的解析与洗脱，最终获得电子级离子交换树脂。本发明提供的方法可对苯乙烯系离子交换树脂进行深度纯化，能将树脂中金属杂质降低至500ppt以内，满足电子材料领域对电子级离子交换树脂的需求。本发明提供的方法相较于通过对离子交换树脂合成原料纯化来制备电子级离子交换树脂的方法，具有工艺简单、成本低等显著优势。

本发明提供一种用于石英材料的蚀刻液及其蚀刻方法，该蚀刻液包含按质量百分比计的22‑28%氢氟酸、3‑6%氟化铵，以及第一添加剂椰油酰胺丙基羟磺酸甜菜碱与第二添加剂二乙二醇单己醚总添加量不超过0.5%、余量为去离子水。本发明在60℃条件下可实现约0.7 μm/min 的蚀刻速率，且在蚀刻深度达200 μm 时，石英表面粗糙度Ra仍可控制在300 nm以内。与传统HF/NH₄F体系相比，本发明显著提升了深度蚀刻时的表面光洁度与一致性，适用于MEMS、光电子器件等对微结构质量要求较高的制造场景。