一种多区域进气的外延沉积设备

本发明公开了一种多区域进气的外延沉积设备，包括反应室腔体，所述反应室腔体内设有石墨大盘，所述石墨大盘均匀划分为多个独立的生长区域，晶圆放置在生长区域上进行外延工艺，所述反应室腔体侧部均匀设有多个独立的进气装置，以实现多种工艺气体独立输送；所述反应室腔体还设有用于驱动石墨大盘旋转的旋转装置；当生长区域中的晶圆进行外延工艺时，所述旋转装置驱动生长区域旋转至相应的进气装置位置处，以实现晶圆在预设的气体氛围内进行外延工艺。本发明通过不同进气装置预通不同种类的源气，结合位置切换实现异质材料的堆叠生长，缩短了工艺制备时长，改善异质界面质量，为复杂器件开发创造了稳定的生长环境。