干涉观察装置及干涉观察方法

本发明的干涉观察装置具备：光源，其输出光；干涉光学系统，其具有参照镜，将从光源输出的光分割成第一光及第二光，并输出被观察对象物反射的第一光和被参照镜反射的第二光的干涉光；摄像元件，其检测干涉光；处理部，其基于摄像元件的检测结果取得干涉图像，并且取得干涉图像中的附着于观察对象物的异物区域的图像的杂乱度；以及输出部，其输出与处理部所取得的杂乱度相关的信息。