元の名称記録: 浜松光子学株式会社

本发明的干涉观察装置具备：光源，其输出光；干涉光学系统，其具有参照镜，将从光源输出的光分割成第一光及第二光，并输出被观察对象物反射的第一光和被参照镜反射的第二光的干涉光；摄像元件，其检测干涉光；处理部，其基于摄像元件的检测结果取得干涉图像，并且取得干涉图像中的附着于观察对象物的异物区域的图像的杂乱度；以及输出部，其输出与处理部所取得的杂乱度相关的信息。

本发明的显微镜装置具备：配置部，其供试样配置；束照射部，其用于对配置于所述配置部的所述试样照射聚焦离子束；激光输出部，其用于输出超短脉冲的激光；激光照射部，其用于将自所述激光输出部输出的所述激光照射至配置于所述配置部的所述试样；及显微镜部，其用于观察配置于所述配置部的所述试样，所述激光照射部包含：空间光调制器，其用于将自所述激光输出部输出的所述激光调制并出射；及扫描部，其用于将自所述空间光调制器出射的所述激光对配置于所述配置部的所述试样一边扫描一边照射。

观察装置（1A）是观察移动的观察对象物（S）的装置，具备：光源（11）、分束器（12）、镜（13、14）、分束器（15）、调制部（21）、透镜（31～34）、摄像部（41）以及处理部（42）。调制部（21）输入从镜（13）到达的第一分支光（L1），基于调制图案对该输入的第一分支光（L1）空间性地进行振幅调制，而设为包含观察对象物（S）的移动方向的波数成分彼此不同的多个光成分的第一分支光。处理部（42）基于从摄像部（41）反复输出的检测信号，生成将多个光成分分别照射到观察对象物（S）时的复振幅图像。由此，实现了能够容易地观察移动的观察对象物的装置。