显微镜装置

本发明的显微镜装置具备：配置部，其供试样配置；束照射部，其用于对配置于所述配置部的所述试样照射聚焦离子束；激光输出部，其用于输出超短脉冲的激光；激光照射部，其用于将自所述激光输出部输出的所述激光照射至配置于所述配置部的所述试样；及显微镜部，其用于观察配置于所述配置部的所述试样，所述激光照射部包含：空间光调制器，其用于将自所述激光输出部输出的所述激光调制并出射；及扫描部，其用于将自所述空间光调制器出射的所述激光对配置于所述配置部的所述试样一边扫描一边照射。