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案件記録
存储器及其形成方法
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
吕俊霖; 杨峻华; 陈衍丰
IPC分類
H10B 12/00 (2023.01)
一种存储器,包含基板和位于基板上方的电容器结构。电容器结构包含底部电极、位于底部电极上方的介电结构和位于介电结构上方的顶部电极。介电结构包含由氧化铪锆(HZO)所制成的第一介电层、位于第一介电层上方,且由氧化铝所制成的阻挡层,以及位于阻挡层上方,且由氧化铪锆所制成的第二介电层,其中第一介电层和第二介电层的其中一者包含第一部分和第二部分,第一部分相邻于阻挡层,并且其中第一部分掺杂硅。具有上述结构的存储器能够实现更高的电容。
外部リソース