基于贝塞尔光束偏转的材料内部加工方法和系统

本发明属于飞秒激光应用技术领域技术领域，具体涉及一种基于贝塞尔光束偏转的材料内部加工方法和系统。本发明方法包括：将短脉宽和长脉宽的两束激光入射至锥透镜中，生成贝塞尔光束；将整形后的光束引入振镜光路，设置两对平行放置的振镜晶片，两对镜片分别绕x轴和y轴偏转；光束通过振镜后被水平方向平移，经过4f系统后入射至玻璃内部实现改性。本发明通双脉宽激光贝塞尔光束多轴振镜快速偏转的方法，能够实现透明材料内部高深径比改性结构的快速加工，与传统大惯性加工装置相比，能够大大提高加工效率。