高速超导纳米线单光子探测器及其制备方法、单光子探测方法

本发明公开了一种高速超导纳米线单光子探测器及其制备方法、单光子探测方法；超导纳米线光敏面集成在衬底上，用于检测光子；超导纳米线光敏面中的纳米线通过电极与所述读出电路连接，读出电路用于确定检测到的光子后的响应信号；超导纳米线光敏面为由若干根纳米线并联组成的多通道并联光敏面，包括若干组呈旋转对称分布的纳米线子区域，在每个所述纳米线子区域中，纳米线为U型结构，若干根U型结构的纳米线组成层层包围式的拓扑结构。本发明能够提升器件的均匀性，保证有效的光敏面积，降低动态电感，提高的光响应速度，进而提高最大计数率。