一种场效应晶体管型气体传感器及其制备方法

本发明提供一种场效应晶体管型气体传感器及其制备方法，包括背栅电极、电介质层、二维材料层和功能覆盖层，二维材料层两侧分别有源电极和漏电极；功能覆盖层具有可控孔道结构和可化学修饰点位。通过功能覆盖层的可控孔道结构提供大量气体吸附位点，使得与二维材料层协同增强电荷转移效率，从而提高响应灵敏度；通过功能覆盖层的可化学修饰点位来修饰不同官能团，不仅能够实现对给电子气体或吸电子气体的选择性强吸附，还能够对混合气体进行特异性识别；通过结合背栅电压，可以独立调控沟道载流子浓度，并和功能覆盖层的化学修饰形成双维度调控，有效提升调谐性能、适应性和灵敏度，解决了如何提高气体传感器的灵敏度、调谐性能和选择性的问题。