一种高温气氛退火炉分层气流温湿度协同调控方法

本发明公开了一种高温气氛退火炉分层气流温湿度协同调控方法，风道夹层沿垂直方向分隔为多层独立送风通道，各层出风孔呈上层孔径大于下层孔径的差异化布置，各层通道分别设有独立导流结构；均热罩底部开设有对应工位间隙布置的矩阵式回风孔，均热罩底部与炉底之间形成有底部流道。调控时通过各层通道独立送风，经工位间隙处竖向导流板分流并打散涡流后由回风孔垂直汇入底部流道回流；采集各层工件温湿度数据计算偏差，将偏差与预设目标值比较后确定各层导流结构的目标开度并独立调节各通道送风量，直至偏差满足要求。本发明使不同层、不同工位均能获得独立匹配的送风量，各工件热响应速率趋于同步，有效保障了精密退火质量。