基于超薄柔性玻璃衬底的HfO基铁电薄膜的应力辅助退火方法和应用

本发明涉及铁电材料技术领域，特别是涉及基于超薄柔性玻璃衬底的HfO基铁电薄膜的应力辅助退火方法和应用，包括以下步骤：在超薄柔性玻璃衬底上依次沉积底电极、HfO基铁电薄膜及顶电极，得到层叠结构；将层叠结构固定于弯曲夹具上，使其处于弯曲应变状态，然后进行快速退火；退火完成后，将固定有层叠结构的弯曲夹具冷却至室温，然后将层叠结构从弯曲夹具上释放，得到基于超薄柔性玻璃衬底的HfO基铁电薄膜。本发明通过选用超薄柔性玻璃作为衬底以突破高温退火限制，并在退火过程中主动施加弯曲应力以调控结晶行为，从而实现在柔性衬底上直接制备高性能HfO基铁电薄膜。