一种绝对式平面二维时栅传感器及其测量方法

本申请涉及精密位移测量技术领域，公开了一种绝对式平面二维时栅传感器及其测量方法，传感器包括定尺基体和动尺基体，定尺基体上设置有沿X方向和Y方向周期阵列分布的两层激励电极，且两层具有不同周期结构；动尺基体上设置有与各层激励电极对应的差动感应电极。测量时通过模拟开关实现激励电极的分时通断：在第一时段内，仅对其中一层施加激励信号并采集输出；在第二时段内切换至另一层施加激励信号并采集输出。分别对各时段获取的信号进行相位检测与解算，并基于两层周期数差异进行联合处理，获得X、Y方向的绝对位移。本发明在单一测量结构下无需额外增设码道，实现了平面二维绝对位置定位，降低了系统复杂度并提升了整体集成性能。