基于三相激励的电容角位移传感器及角位移测量的方法
本发明公开了一种基于三相激励的电容角位移传感器及角位移测量的方法,包括定子和与定子同轴的转子,定子的基体上表面设置有一圈激励电极,包括A激励相、B激励相和C激励相,三个激励相分别用于施加三路相位依次相差120°的交流激励信号;转子的基体下表面设置有一圈感应电极,包括第一感应组、第二感应组、第三感应组和第四感应组,其中第一感应组与第三感应组差动输出第一路行波信号,第二感应组与第四感应组差动输出第二路行波信号;还包括信号处理单元,用于对第一路行波信号和第二路行波信号进行数据融合与位移解算,得到角位移值。本发明相对于现有技术分辨率更高,硬件更简单,且差动结构抑制了共模干扰,提高了信噪比和测量精度。