№ CN121364599A발명
유효抗蚀剂组合物、光产酸剂的制备方法及图案形成方法
本发明公开了一种抗蚀剂组合物,包括式(1)所示的第一光产酸剂,基础树脂、含氟树脂、淬灭剂和0~1.0质量份的式(2)所示的第二光产酸剂,并公开了图案形成方法,最终得到了改善的感光度和LWR的抗蚀剂图案。
❖湖北鼎龙芯盛科技有限公司; 鼎龙(潜江)新材料有限公司; 湖北鼎龙控股股份有限公司罗祖获; 丁炜; 朱胜强; 成凯; 刘子豪§ 2/10 청구항G03F 7/004 (2006.01)36
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