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기록
抗蚀剂组合物、光产酸剂的制备方法及图案形成方法
발명유효
1조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
湖北鼎龙芯盛科技有限公司; 鼎龙（潜江）新材料有限公司; 湖北鼎龙控股股份有限公司
발명자
罗祖获; 丁炜; 朱胜强; 成凯; 刘子豪
IPC 분류
G03F 7/004 (2006.01)
本发明公开了一种抗蚀剂组合物，包括式（1）所示的第一光产酸剂，基础树脂、含氟树脂、淬灭剂和0~1.0质量份的式（2）所示的第二光产酸剂，并公开了图案形成方法，最终得到了改善的感光度和LWR的抗蚀剂图案。