江苏博涛智能热工股份有限公司

本发明公开了一种薄膜的检测方法以及薄膜生产设备，所述薄膜的检测方法包括以下步骤：在薄膜制备前，将基材转移至质量测量模块上，测得基材的质量，记为初始质量；在薄膜制备后，将含有薄膜的基材转移至质量测量模块上，通过质量测量模块测得含有薄膜的基材的质量，记为总质量；计算所述总质量与所述初始质量之间的差值，将所述差值记为所述薄膜的质量；根据预设的所述薄膜的质量与薄膜的厚度之间的对应关系，将所述薄膜的质量转换为所述薄膜的质量换算厚度；判断所述质量换算厚度是否落入预设厚度范围内，若是，则判定所述薄膜合格；若否，则判定所述薄膜不合格。本发明能够对每一薄膜产品的在线全检与无损评估。

本发明提供了一种PECVD设备，包括真空腔体、掩膜板、基座、基板、底部电磁线圈组和侧边电磁线圈组。掩膜板、基座和基板设于真空腔体内，基座位于掩膜板的下方，基座用于承载基板，基座可受控地朝向掩膜板移动，以使基板与掩膜板贴合。底部电磁线圈组设于真空腔体的底壁上，侧边电磁线圈组设于真空腔体的侧壁上并环绕真空腔体设置。本发明利用电磁场驱动掩膜板悬浮及水平移动，优化了设备空间布局；悬浮对位过程无机械接触，可避免摩擦颗粒生成，提升产品良率；真空腔体底部无需开设通孔，内壁完整无凸起，可保证气流场与温度场对称性，改善膜厚均匀性；电磁线圈组外置设置，便于安装维护，可降低维护难度，缩短停机时间。