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薄膜的检测方法以及薄膜生产设备

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§ Ⅰ

개요

발명자

陶志波; 袁文志; 霍李均

출원일

Jul 27, 2026

공개일

Oct 20, 2026

IPC 분류

H10P 74/20 (2026.01)C23C 14/54 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01)H10P 74/00 (2026.01)H10P 72/00 (2026.01)G01B 21/08 (2006.01)

本发明公开了一种薄膜的检测方法以及薄膜生产设备,所述薄膜的检测方法包括以下步骤:在薄膜制备前,将基材转移至质量测量模块上,测得基材的质量,记为初始质量;在薄膜制备后,将含有薄膜的基材转移至质量测量模块上,通过质量测量模块测得含有薄膜的基材的质量,记为总质量;计算所述总质量与所述初始质量之间的差值,将所述差值记为所述薄膜的质量;根据预设的所述薄膜的质量与薄膜的厚度之间的对应关系,将所述薄膜的质量转换为所述薄膜的质量换算厚度;判断所述质量换算厚度是否落入预设厚度范围内,若是,则判定所述薄膜合格;若否,则判定所述薄膜不合格。本发明能够对每一薄膜产品的在线全检与无损评估。

§ Ⅵ

특허 도면

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