원래 이름 기록: 青海高景太阳能科技有限公司; 高景太阳能股份有限公司

本发明提供一种耐腐蚀耐高温复合石英坩埚及其制备方法，该石英坩埚由内向外依次包括如下重量份叠层：内层50~100份、过渡层200~400份、增强层150~250份、外层40~80份；制备方法包括如下步骤：逐层成型，将内层浆料、过渡层粉料、增强层预制件、外层浆料依次加入模具中成型；梯度干燥：将成型后的坩埚坯体放入干燥箱中，进行梯度干燥；分段烧结：将干燥后的坩埚坯体放入高温烧结炉中，进行分段烧结，冷却脱模得到坩埚产品。本发明通过四层功能梯度材料设计构建复合防护体系，制得复合石英坩埚具备优异的耐高温性能、耐腐蚀性能和结构稳定性，可适配大尺寸半导体单晶炉应用，制备工艺工程化优势显著。

本申请实施例提供一种抽真空方法和相关装置，涉及单晶制造领域，方法包括：获取单晶炉工艺腔内的压力；根据所述压力，确定罗茨泵的运行参数；根据罗茨泵的运行参数，确定所述螺杆泵的运行参数；所述运行参数至少包括开度；根据所述罗茨泵的运行参数，控制所述罗茨泵运行，以及，根据所述螺杆泵的运行参数控制所述螺杆泵运行。可以降低抽真空过程的能耗。