抽真空方法和相关装置

本申请实施例提供一种抽真空方法和相关装置，涉及单晶制造领域，方法包括：获取单晶炉工艺腔内的压力；根据所述压力，确定罗茨泵的运行参数；根据罗茨泵的运行参数，确定所述螺杆泵的运行参数；所述运行参数至少包括开度；根据所述罗茨泵的运行参数，控制所述罗茨泵运行，以及，根据所述螺杆泵的运行参数控制所述螺杆泵运行。可以降低抽真空过程的能耗。